MFC使用須知
1、注意閱讀產(chǎn)品說明書及有關(guān)資料
2、注意系統(tǒng)設(shè)計(jì)
用戶購買MFM/MFC后,往往要組建一個(gè)系統(tǒng).建議在系統(tǒng)設(shè)計(jì)時(shí),不要僅僅考慮功能的實(shí)現(xiàn),還要考慮系統(tǒng)的可靠性、安全性、易操作性、易維護(hù)性、 易擴(kuò)充性等因素。 以下給出幾點(diǎn)具體建議:
A.對(duì)于反應(yīng)系統(tǒng),建議在MFC的出氣端加裝單向閥,以防止異常情況下反應(yīng)物倒流損壞MFC.
B.對(duì)于高壓系統(tǒng),應(yīng)在MFC的下游加裝背壓閥(或其它節(jié)流裝置)及壓力表,以便于保證MFC的工作壓差。
C.注意加裝過濾器,以凈化氣源,延長MFM/MFC的使用壽命.
D.對(duì)于硅烷這樣的遇空氣易形成結(jié)晶的氣體,應(yīng)特別注意系統(tǒng)的密閉性(檢漏時(shí)不要忽視減壓器),必要時(shí)設(shè)計(jì)吹洗旁路,隨時(shí)進(jìn)行氮?dú)獯迪椿蛘龎罕３帧?br />E.有高頻源的系統(tǒng)應(yīng)注意屏蔽并特別注意處理好接地問題,例如采用單點(diǎn)接地.
F.對(duì)于高真空系統(tǒng), 注意氣路接頭盡量減少并采用VCR等接頭。
G.MFM/MFC 的安裝位置應(yīng)易于裝卸,檢測,調(diào)零,并安全可靠.
H.對(duì)可靠性要求*的系統(tǒng),應(yīng)注意冗余設(shè)計(jì)。
3、注意正確使用操作
對(duì)于比較復(fù)雜的系統(tǒng)或使用特殊氣體的系統(tǒng),應(yīng)當(dāng)建立自己的操作規(guī)程。
4、注意輕拿輕放妥善保管
MFM/MFC非常精密, 應(yīng)避免受到撞擊和振動(dòng)。 產(chǎn)品不用時(shí)注意放在較好的環(huán)境中妥善保管.
5、注意定期標(biāo)定
原則上應(yīng)當(dāng)定期標(biāo)定。
6、注意使用氣體與流量計(jì)的密封材料相適應(yīng)
我廠生產(chǎn)的流量計(jì)通常采用的密封材料是氟橡膠,能適合大多數(shù)氣體的使用,包括HCL這樣的強(qiáng)腐蝕性氣體。但對(duì)于氨氣,必須使用耐氨橡膠;對(duì)于有機(jī)溶劑類氣體,如丙酮、甲苯等,必須使用硅橡膠;對(duì)于使用三氯化硼、三溴化硼等強(qiáng)腐蝕性介質(zhì),必須使用四氟密封或金屬密封的流量計(jì)。用戶在訂貨和使用中必須特別注意。
7、注意保證MFC的工作壓差
即保證MFC 進(jìn)氣端和出氣端的壓力差在其指標(biāo)范圍之內(nèi)。 常壓系統(tǒng)好保證, 一般只要使用減壓器即可;高壓系統(tǒng)中一般要通過減壓器和背壓閥的結(jié)合使用來保證。
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